被泵抽除的水蒸汽，应该在压缩室内压缩，直到排气阀打开为止，如果假设泵内的温度是60℃，那么在这一温度下水的饱和蒸汽压就是20000帕，在压缩过程中的水蒸汽一旦达到上面讲的压力时，就会开始凝结成水，但是20000帕时还推不开排气阀，因为排气阀是通向大气还有排气阀的弹簧压住，也就是泵腔的内部压力要压缩到120000帕以上才能推开排气阀，水蒸汽压缩以后，到压缩末期已全部凝结为水，而混到真空泵油里头去。
为了满足抽出潮湿空气的要求，而不致于水蒸气污染油质。所以，油封式真空泵要装有气镇装置。它的原理就是在压缩过程中放入一定量的空气以提高混合气体的压力，混合气体的压力为空气的分压力和水蒸气的分压力之和，在蒸汽的分压力还没有达到真空泵温度下的饱和蒸汽压时，混合气体压力就已超过了排气阀的压力而打开排气阀，使蒸汽来不及在泵腔中液化就被排除在泵外。
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