微型真空泵原理简单得来说是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。
例如，将一个密闭容器(开始时，内部是常压100KPa)，接上微型真空泵VAA6005对它进行持续抽气，最后密闭容器内的气体压力就会低于大气压，达到60KPa的绝对压力。
不但如此，经过特殊的技术改进，除了单抽气的微型真空泵外，还可以形成抽气打气两用的微型真空泵(即排气端可以产生比较大的正压)如PCF、FAA系列，用于增压、充气、克服系统阻力等等以及非常独特的水气两用微型真空泵PHW系列它可以用于需要长期空转、干转等等场合，不像一般的水泵空转，或者干转就会损坏泵。
正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，同时不像大型真空泵需要润滑油和真空泵油，不会污染工作介质，而且具有体积小巧、噪音低、免维护，可以连续24小时运转等优点，所以按照微型真空泵原理，微型真空泵被作为动力装置广泛用于气体采样、气体循环、真空吸附、加速过滤、汽车真空助力等等场合，在医疗、卫生、科研、环保等领域得到了广泛的应用。
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