原理：三次元量测仪可定义为：一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴之位移量测系统（如光学尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标（x,y,z）及各项功能量测的仪器。 其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。 操作： 1、量测前准备： （a）检查空气轴承压力是否足够 （b）安装工件 2、头选择及安装： （a）将适当之测头装于Z轴承接器 （b）检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀） （c）锁定各轴之适当位置 3、量测操作： （a）开启处理机电源 （b）启开打印机开关 （c）参考操作手册，选择所需功能之指令 （d）进行量测，并读出量测值
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